由于目前的國(guó)際環(huán)境，國(guó)際大力倡導(dǎo)芯片的自主化，預(yù)計(jì)在未來幾年，將需要數(shù)億元的高效過濾器和精密過濾器。而半導(dǎo)體廠對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境空氣的潔凈度是十分挑剔的，因此對(duì)于空氣過濾器的要求也是十分苛刻。

1、芯片廠10級(jí)、1級(jí)潔凈車間

主過濾器效率：ULPA超高效過濾器

常見過濾元件：無隔板ULPA超高效過濾器

特殊要求：掃描檢驗(yàn)，流速均勻，無揮發(fā)物

作用：當(dāng)今對(duì)性能要求最高的空氣過濾器

2、芯片廠10級(jí)、1級(jí)潔凈廠房預(yù)過濾器

主過濾器效率：HEPA高效過濾器

常見過濾元件：無隔板高效過濾器、有隔板高效過濾器

特殊要求：迎面風(fēng)速高

作用：保證末端過濾工器的使用壽命

從以上可以看出，芯片廠空氣過濾要求十分的嚴(yán)格，潔凈度要求非常高，因此必須搭配初效、中效和高效空氣過濾器使用，并且在一些要求特別的環(huán)境中還需要搭配超高效過濾器。因此我們芯片廠在選擇空氣過濾器的時(shí)候，主要是根據(jù)自己的需求進(jìn)行設(shè)計(jì)通風(fēng)，再選擇不同過濾級(jí)別的空氣過濾器進(jìn)行搭配使用，達(dá)到生產(chǎn)芯片的環(huán)境要求。